圆片平整度、翘曲度有区别吗

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/07 20:38:27

圆片平整度、翘曲度有区别吗
圆片平整度、翘曲度有区别吗

圆片平整度、翘曲度有区别吗
平整度分为局部平整度和全局平整度两个指标,翘曲度是片子弯曲的程度,测试方法不了解.
平整度是与圆片的厚度相关,也即是不同的厚度；翘曲度是指圆片的弯曲程度
平整度为形状误差,翘曲度为位置误差.
平整度是roughness,翘曲度是warpage.
corning tropel 公司的flatmaster 200 等机型可以很好的测量.
硅片平整度,翘曲度的区别,见下图!
TAPER FLATNESS BOW WARP.bmp
一般硅片厂用ADE测硅片的平整度.平整度一般指TTV(total thickness variation),TIR(total indicator reading),STIR(site total indicator reading) ,FPD(focal plane deviation).
上传一篇文章,里面有介绍,这个是中文的,还有一个硅材料厂的ADE测试设备的说明书,那个最清楚了.
附件要用维普浏览器才能打开.
硅片的几何参数及其测试.rar
用维普浏览器呀,这是在维普上找的文章了.
好问题.学到了
硅片平整度,翘曲度的区别,见下图!
同意这个老兄的
这俩个有联系.又有区别的 ,他是俩个概念.不要混淆,平整度影响翘曲的.

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