什么是反应磁控溅射的迟滞效应?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/09 03:00:41

什么是反应磁控溅射的迟滞效应?
什么是反应磁控溅射的迟滞效应?

什么是反应磁控溅射的迟滞效应?
当使用金属靶进行反应磁控溅射过程中,存在两种溅射状态：“金属模态”和“反应模态”,金属模态一般在工作气压比较低的溅射氛围中出现,溅射产额高,工作电位也高,反应模态一般在工作气压比较高的溅射氛围中出现,溅射产额低,工作电位相对金属模态低.当溅射过程中工作气压逐渐增大时,金属模态会向反应模态转变,如下图,这种转变发生在气压为P1时,此时工作电位发生突变,但是,当气压接着往回降时,在P1点并不能立即实现反应模态到金属模态的转变,而是需要继续降低气压,直到P2点才能发生这种转变,使得工作电位急剧升高.反过来也是如此.也就是说,靶电压的变化相对气压的调整发生了滞后,这就是反应磁控溅射的迟滞效应.在工程应用中,操作工程师必须掌握所使用工艺的迟滞效应区间,才能制备出质量稳定的薄膜材料.

 
 

什么是反应磁控溅射的迟滞效应? 传感器的迟滞效应是指什么电极测溶液电动势的时候,测完一组溶液后要清洗电极是为了避免迟滞效应.请问到底什么是迟滞效应呢? 请问什么是迟滞效应,又没有具体的定义?是关于物体受到力发生形变然后去掉力 恢复形变时的迟滞效应,哪位大哥可以解释一下? 什么是打弧现象?就是磁控溅射方面的. 直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因 什么是蝴蝶的效应? 磁控溅射镀膜的应用 传感器的迟滞是什么意思啊 磁控溅射法有哪些种类?反应磁控溅射法是不是分为直流磁控溅射法和交流磁控溅射法还有射频磁控溅射 非平衡磁控溅射 真空磁控溅射ITO的最佳靶基距,硅靶中频反应溅射SIO2的最佳靶基距. 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别到底是什么啊 什么是金属材料的应变效应 什么是钻石的荧光效应? 什么是电磁波的色散效应 什么是链传动的多边形效应? 什么是电流的涡流效应 什么是运输的场所效应 什么是链传动的多边形效应?