硅片的湿法刻蚀光刻以后,想把曝光的图形刻蚀掉,怎么弄?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/07 22:39:35

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硅片的湿法刻蚀
光刻以后,想把曝光的图形刻蚀掉,怎么弄?

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用HF:HNO3=6:1试试看