真空镀膜机如何镀球罩
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/09 03:48:59
真空镀膜机如何镀球罩
真空镀膜机如何镀球罩
真空镀膜机如何镀球罩
真空镀膜还是要溅射气体的,你说的球罩可以理解成中间高两边低的材料吧,一般非流水线的镀膜机就一个溅射气体的出气口(我不是很清楚),像我们公司的流水线镀膜就有5个溅射气体的出气口,你可以在气体出气口做一个分流的出气口,就想洗澡的淋浴一样,一出多,但每一个小的出气口都要可以精确调节出气的速率的,这样通过反复试验就可以找到每个出气口的用气量,使得镀在球罩上的膜层能够一样的厚.比如说Ar气,用气量越多,溅射速度越快,则相应该部分的膜层也就越厚.