四氟甲烷的主要用途是什么
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/10/02 20:06:04
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻
收录互联网各类作业题目,免费共享学生作业习题
香蕉皮慧海网手机作业共收录了 千万级 学生作业题目
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/10/02 20:06:04
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟甲烷的主要用途是什么
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻