直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/09 10:20:14
直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别
直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别
直流等离子体与电感耦合等离子体光源的区别
直流等离子体光源:内电极放电,因存在电极材料损耗问题,寿命短.
电感耦合等离子体 :外电极放电,无电极材料损耗,寿命长.
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