为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/06 03:50:28
为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象
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为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象
有可能是片摆放位置不是很正,另一个就是由于石墨舟使用时间较长,产生温度不是很均匀造成烧片!
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啥叫烧片?
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