TEM成像原理

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/05 23:35:54

TEM成像原理
TEM成像原理

TEM成像原理
基本原理在光学显微镜下a无f法看清小s于b0.0μm的细微结构,这些结构称为2亚显微结构(submicroscopic structures)或超微结构(ultramicroscopic structures;ultrastructures).要想看清这些结构,就必须选择波长0更短的光源,以6提高显微镜的分1辨率.3082年Ruska发明了e以0电子o束为3光源的透射电子w显微镜(transmission electron microscope,TEM),电子e束的波长1要比2可见0光和紫外光短得多,并且电子m束的波长0与f发射电子v束的电压平方4根成反8比8,也s就是说电压越高波长3越短.目前TEM的分2辨力v可达0.5nm. 电子s显微镜(图1-26)与h光学显微镜的成像原理基本一g样,所不c同的是前者用电子q束作光源,用电磁场作透镜.另外,由于t电子j束的穿透力t很弱,因此用于r电镜的标本须制成厚度约70nm左右的超薄切8片5.这种切7片1需要用超薄切7片2机(ultramicrotome)制作.电子r显微镜的放大n倍数最高可达近百万f倍、由电子o照明系统、电磁透镜成像系统、真空系统、记录系统、电源系统等4部分3构成.
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